電學檢測原理：通過給半導體器件施加電壓或電流，測量其電學參數，如電阻、電容、電感、電流 - 電壓特性等，來判斷器件的性能和質量。例如，半導體電阻式傳感器就是利用半導體材料的電阻變化來檢測物理量的變化 。半導體檢測設備
光學檢測原理：利用光與半導體材料的相互作用，如反射、折射、吸收、散射等，來獲取半導體的信息。例如，通過分析半導體材料對特定波長的光的吸收程度，可以確定材料的成分和濃度；利用激光散射技術可以檢測半導體表面的粗糙度和缺陷 。
聲學檢測原理：利用超聲波在半導體材料中的傳播特性，如聲速、衰減、反射等，來檢測材料的內部結構和缺陷。聲學檢測技術對于檢測半導體材料中的微小缺陷和分層等問題具有較高的靈敏度。
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